1MHz-400MHz，功率周围从10KW至30KW，是为半导体分娩制作和太阳能光伏分娩制作策画的新一代功率源，重要运用席卷射频溅射，反映离子刻蚀，射频偏置，众态等离子体，等离子体外观惩罚，射频慰勉CO2激光器体例和电感耦合等离子体体例等。

　　1：高功率密度，正在一个圭臬19英寸宽、4U(178mm)高的机箱内集成了高达12KW的射频输出功率，而且交换转直流的直流电源也正在此中，减小了对客户利用时场面的哀求。

　　2：火速智能的驻波（VSWR）珍爱功效，Zeta系列射频电源的驻波珍爱能正在负载展现很是后毫秒级的功夫内火速启动，可能实时的牢靠的珍爱射频电源不因负载的很是而损坏。

　　3：高牢靠性高宁静性，咱们富饶阅历的工程师经心策画的射频功放正在任何负载下都能宁静的输出，负载正在全Smith图上无杂波。

　　4：先辈的射频功率衡量体例，Zeta系列射频电源的衡量体例采用基于FPGA的数字中频测控手艺，能到达最厉苛的半导体系程的功率精度哀求。

　　5：先辈的把握体例，Zeta系列射频电源功率把握体例采用双PID把握算法，能精准的宁静的把握射频电源的输出功率。

　　Zeta系列射频电源通过长途把握（利用Analog I/O 端口、串口或者网口把握）

　　打制行业品牌，十众年的后光进程是品格不绝晋升，手艺陆续立异的射频电源斗争史