博顿全自立研发的新型高端射频离子源，采用奇异策画中空阴极中和器，告终超长不断任务。彻底脱离古代的热阴极任务年华短的题目。行使众层栅网，精准离子束目标。支柱离子束流和能量辨别独立把握，把握更精准。任务气体兼容性强，无任务气体桎梏。 矩形的机合具有大面积的不断掩盖的个性，能满意不断坐褥的需求。

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